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    掃描電鏡樣品臺(tái)對于樣品要滿足哪些要求?

    更新時(shí)間:2021-09-07  |  訪問量:1416
       掃描電鏡樣品臺(tái)可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像,掃描電鏡有較高的放大倍數(shù)且連續(xù)可調(diào),是當(dāng)今十分有用的科學(xué)研究儀器。對于它試驗(yàn)的樣品來說有哪些要求呢?
      1.形態(tài)必須耐高真空
      如有些含水量很大的細(xì)胞,在真空中很快被抽干水分,細(xì)胞的形態(tài)也發(fā)生了改變,無法對各類型細(xì)胞進(jìn)行區(qū)分。
      2.樣品表面不能含有有機(jī)油脂類污染物
      油污在電子束作用下易分解成碳?xì)浠铮瑢φ婵窄h(huán)境造成極大污染。樣品表面細(xì)節(jié)被碳?xì)浠衔镎谏w;碳?xì)浠衔锝档土顺上裥盘?hào)產(chǎn)量;碳?xì)浠衔镂皆陔娮邮饴芬饦O大象散;碳?xì)浠衔锉晃皆谔綔y器晶體表面,降低探測器效率。對低加速電壓的電子束干擾嚴(yán)重。
      3.樣品必須干燥
      水蒸氣會(huì)加速電子槍陰極材料的揮發(fā),從而極大降低燈絲壽命;水蒸氣會(huì)散射電子束,增加電子束能量分散,從而增大色差,降低分辨能力。
      4.樣品表面可導(dǎo)電
      大多數(shù)情況下,初級(jí)電子束電荷數(shù)量都大于背散射電子和二次電子數(shù)量之和,因此多余的電子必須導(dǎo)入地下,即樣品表面電位必須保持在0電位。如果樣品表面不導(dǎo)電,或者樣品接地線斷裂,那么樣品表面靜電荷存在,使得表面負(fù)電勢不斷增加,出現(xiàn)充電效應(yīng),使圖像畸變,入射電子束減速,此時(shí)樣品如同一個(gè)電子平面鏡。對不導(dǎo)電的樣品,建議采用離子濺射鍍膜機(jī)噴鍍金屬,這樣可顯著提高掃描電子顯微鏡所觀察圖像的質(zhì)量。
      5.特殊樣品制備考慮因素
      掃描電鏡一般不建議觀測磁性材料,如果一定要觀測此類物質(zhì),則建議對材料首**行退磁。如果要檢測觀察弱反差機(jī)理,就必須消除強(qiáng)反差機(jī)理,否則很難檢測到弱的反差。當(dāng)希望背散射電子衍射反差(EBSD),I和II型磁反差或其他弱反差機(jī)理時(shí),磁性材料的磁疇特性必需消除樣品的形貌。采用化學(xué)拋光,電解拋光等,以使樣品產(chǎn)生一個(gè)幾乎消除形貌的鏡面。
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